mekko

1666 Jianye Road, High-tech Zone, Leshan City, Sichuanin maakunta, Kiina.

puhelinnumero +86 15390206217
SÄHKÖPOSTI sale@sanjiangchem.com

Kemikaalit puolijohdeprosesseihin

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1Puolijohteiden valmistus on suurelta osin kemiallisesti liittyvä prosessi, jossa jopa 20 % prosessivaiheista on puhdistusta ja kiekkojen pinnan valmistelua:

Olemme tottuneet kutsumaan kiekkojen valmistuksessa käytettyjä kemiallisia materiaaleja prosessikemikaaleina, joita on eri kemiallisissa muodoissa (nestemäisiä ja kaasumaisia) ja joiden puhtaus on tiukasti valvottu.Näiden prosessikemikaalien päätehtävät ovat seuraavat:

Puhdista kiekon pinta märällä kemiallisella liuoksella ja ultrapuhtaalla vedellä;

Piikiekkojen seostus korkeaenergisilla ioneilla P- tai N-tyypin piimateriaalien saamiseksi;

Erilaisten metallijohdinkerrosten ja tarvittavien dielektristen kerrosten kerrostaminen johdinkerrosten väliin;

Luo ohut SiO2-kerros MOS-laitteiden pääportin dielektriseksi materiaaliksi;

Käytä plasmalla tehostettua etsaus- tai märkäreagensseja materiaalien selektiiviseen poistamiseen ja halutun kuvion muodostamiseen kalvolle;

Nestemäiset erittäin puhtaat reagenssit luokitellaan kolmeen luokkaan: UP-S, UP ja EL niiden puhtauden mukaan, ja EL jaetaan edelleen:

Elektroninen luokka 1 (EL-Ⅰ)
sen metalliepäpuhtauspitoisuus on 100–1000 PPb, mikä vastaa SEMI C1 C2 -standardia;

Elektroninen luokka 2 (EL-Ⅱ)
sen metalliepäpuhtauspitoisuus on 10-100 PPb, mikä vastaa SEMI C7 -standardia;

Elektroninen luokka 3 (EL-Ⅲ)
sen metalliepäpuhtauspitoisuus on 1–10 PPb, mikä vastaa SEMI C7 -standardia;

Elektroninen luokka 4 (EL-IV)
sen metalliepäpuhtauspitoisuus on 0,1–1 PPb, mikä vastaa SEMI C8 -standardia;

Ultrapuhtaat ja erittäin puhtaat reagenssit tunnetaan kansainvälisesti prosessikemikaaleina, tunnetaan myös märkäkemikaaleina, ja ne ovat yksi tärkeimmistä kemiallisista perusmateriaaleista integroitujen piirien (IC) ja erittäin suuren mittakaavan integroitujen piirien (VLSI) tuotantoprosessissa. .Sitä käytetään myös piikiekkojen pinnan puhdistukseen ja syövytykseen.Ultrapuhtaiden ja erittäin puhtaiden reagenssien puhtaudella ja puhtaudella on erittäin tärkeä vaikutus integroitujen piirien saantoon, sähköisiin ominaisuuksiin ja luotettavuuteen.On olemassa monia erilaisia ​​elektroniikkalaatuisia kemikaaleja ja korkeat tekniset vaatimukset.Se perustuu mikroelektroniikan kehitykseen.Mikroelektroniikan teknologian kehittyessä se kehittyy synkronisesti tai etuajassa.Samalla se rajoittaa mikroelektroniikan teknologian kehitystä.


Postitusaika: 23.6.2022